기계요소 (25) – 평행 스프링(마이크로나노 위치 결정용)
마이크로·나노 위치 결정용 평행 스프링 정밀 위치 결정에는 다음 세 가지 요소 기술이 필요합니다: 이 중에서, 여기서는 미크론부터 나노 영역에서 채택되는 미세 위치 결정 기구용 평행 스프링에 대해 살펴보겠습니다. (1) 평행 스프링의 원리 평행 스프링은 평행사변형 형상을 사용하여 미세한 이동을 안내하는 구조를 가지고 있습니다. **【그림1】**에서 볼 수 있듯이, 이 형상은 높이를 바꾸어도 마주보는 두 변이 … Read more